| 9/02 | . | методами интерферометрии (использование интерферометров для оптических методов измерения линейных размеров предметов G01B 9/02) [3] |
| 9/04 | . | методом биения двух волн различной частоты от одного источника и измерением сдвига фазы результирующей волны более низкой частоты [3] |